Bộ lọc không khí công nghiệp bán dẫn
Bụi bám vào mạch tích hợp có thể gây mất kết nối và đoản mạch, bụi ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất sản phẩm. Ngày nay, ngành công nghiệp bán dẫn (nhà máy sản xuất chip) đòi hỏi khắt khe nhất về độ sạch không khí trong môi trường sản xuất, đồng thời cũng có những yêu cầu khắt khe nhất đối với bộ lọc không khí.
Hình thức thông gió truyền thống trong nhà máy sản xuất chip là ''lưu thông lớn'', trong đó toàn bộ trần nhà xưởng được phủ bộ lọc HEPA, còn toàn bộ sàn nhà là lưới tản nhiệt gió hồi. Ngày nay, một số xưởng trong các nhà máy sản xuất chip sử dụng FFU (''Bộ lọc quạt''), được trang bị quạt riêng và cả hai loại tuần hoàn lớn và FFU đều có thể đạt được độ sạch vừa đủ, chỉ có một số khác biệt trong quản lý vận hành và tiêu thụ năng lượng.
Cả bộ lọc HEPA và FFU đều được quét và kiểm tra từng bộ phận trước khi rời khỏi nhà máy.
Các hạt muối biển trong không khí là kẻ thù không đội trời chung của tất cả các ngành công nghiệp điện tử, nhưng bụi muối biển trong không khí có các hạt tương đối lớn có thể được lọc ra bằng các bộ lọc thông thường. Các khu vực ven biển có nền kinh tế phát triển và một số ngành công nghiệp điện tử chọn đặt nhà máy ở đó, điều này đòi hỏi phải chi thêm một ít tiền cho các bộ lọc.
Công nghệ lọc ngày nay có thể giảm nồng độ bụi trong phòng sạch xuống gần bằng 0, sạch như ý muốn. Khi độ rộng đường trên chip nhỏ tới 0,5μm, các chất ô nhiễm hóa học trong không khí sẽ trở thành mối nguy hiểm lớn đối với năng suất. Do đó, bộ lọc hóa học thường được yêu cầu trong hệ thống điều hòa không khí của các nhà máy sản xuất chip có chiều rộng đường truyền nhỏ hơn 0,5μm. Nguyên lý và quy trình sản xuất bộ lọc hóa học không hề phức tạp, đó chính là bộ lọc than hoạt tính.
Nguồn gây ô nhiễm hóa học có thể là: không khí ngoài trời, bản thân quy trình, con người và vật liệu trang trí. Trong hầu hết các trường hợp, người thiết kế và nhân viên tại hiện trường không thể nói được loại và nồng độ chất ô nhiễm là gì. Do đó, các bộ lọc hóa học được sử dụng phải có ít nhất hai đặc điểm: đặc tính hấp phụ phổ rộng và lượng vật liệu than hoạt tính vừa đủ. Hấp phụ phổ rộng có nghĩa là nó có thể hấp phụ bất cứ thứ gì và vật liệu có thể có chức năng này là than hoạt tính dạng hạt phổ biến nhất và rẻ nhất. Nếu có thể xác định được loại chất gây ô nhiễm, vật liệu than hoạt tính có thể được xử lý hóa học theo mục tiêu để nâng cao khả năng hấp phụ đối với các chất ô nhiễm cụ thể.
Ngành công nghiệp bán dẫn không phải là 'ngành công nghiệp không khói' như người ta thường tin, và nó cũng có những vấn đề về môi trường. Bởi vì các quy trình và vật liệu mới nhất thường được sử dụng, một số hóa chất được sử dụng với số lượng lớn trước khi đánh giá mức độ an toàn của chúng và chỉ một sự bất cẩn nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến ô nhiễm hóa chất nghiêm trọng, cả nước ngầm và không khí. Vì lý do an toàn, một số công ty còn sử dụng bộ lọc hóa học trong hệ thống khí thải của họ.
